真空泵是一种用于从密闭空间中抽出气体分子,从而降低内部压力、建立和维持真空环境的关键设备。它广泛应用于科学研究、半导体制造、真空镀膜、冷冻干燥、医疗设备、航空航天等领域。根据工作方式和适用真空范围的不同,真空泵的种类繁多,其工作原理也各不相同。以下介绍几种常见类型真空泵的基本原理。
常见的真空度单位包括帕斯卡(Pa)、毫巴(mbar)、托(Torr)和标准大气压(atm)。以下是这些单位之间的换算关系:
真空是指在给定空间内,压强低于一个标准大气压(101.325 kPa或101 kPa)的气体状态,即气体稀薄程度高于大气压的状态。
真空泵作为现代工业的核心装备之一,是通过机械、物理或化学方法在封闭空间内创造并维持真空环境的装置。其本质功能在于通过主动抽除容器中的气体分子,持续降低容器内部的气压,直至达到预设的真空度。
真空是物理学中一个核心概念,其内涵随着科学认知的深化不断演变。以下从定义、历史发展、现代物理内涵、分类及应用等方面综合阐述